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便攜式超聲波流量計在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
用于微芯片生產(chǎn)的外夾式流量計
液體流動過程是半導(dǎo)體和電子元件制造行業(yè)的重要組成部分。在半導(dǎo)體和印刷電路板 (PCB) 的各個生產(chǎn)步驟中使用的流體要么是腐蝕性的,要么是超純的。由于我們的超聲波流量計安裝在外部,因此它們是這些條件的理想選擇,并且與其他儀器不同,它們不會受到介質(zhì)低電導(dǎo)率的影響。
康創(chuàng)尼克超聲波流量計為半導(dǎo)體行業(yè)的客戶提供多項優(yōu)勢。
多樣性
我們的超聲波流量計可測量半導(dǎo)體生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)的各種不同流體,從化學(xué)機械平坦化 (CMP) 中使用的磨蝕性流體到清潔過程中的酸、溶劑、表面活性劑和去離子水。
安+全
半導(dǎo)體生產(chǎn)中的許多流體具有腐蝕性或?qū)】涤泻ΑHコ嘤嚆~所需的高強度酸可能會導(dǎo)致任何實施的侵入性技術(shù)的安+全、衛(wèi)生和測量問題。Katronic 流量計是非侵入式的,使其完全**。
經(jīng)濟
操作 Katronic 流量計來控制和驗證沖洗過程將延長溶液的浴液壽命,降低化學(xué)成本并降低廢品率。它們還可用于檢查過量沖洗液的體積,并可以減輕廢物處理系統(tǒng)的負擔。
應(yīng)用
沉淀劑、還原劑和替代劑的測量
化學(xué)機械平坦化 (CMP) 流體的控制
廢水排放量的計算
監(jiān)測氫氟酸系統(tǒng)
計量板沖洗系統(tǒng)
超純水測量
客戶參考
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